제품소개
N2 Purifier
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N2 Purifier
| 항목 | Spec | |
|---|---|---|
| Purifier | Dimension | 3000*2500*1680 mm (W*D*H) |
| Purifying Type | 흡착 (Adsorption Type) | |
| 공급 Gas | N2 | |
| 관리환경 | H2O : ≤1ppm, O2 : ≤1ppm 분위기 관리 (≤90분) | |
| Box 압력 제어 | ±15mbar | |
| Blower 용량 | Max. 6000lpm/min(Cool Unit), Max. 20,000lpm/min (TM#1) | |
| Column 수량 | 2개 (연속공정 대응 가능) | |
| Circulation 압력 | -15mbar ~ +15mbar | |
| Sensor | H2O, O2 (ppm) | 포함 (Fume에 반응성 없어야 함) |
| Sensitivity | H2O : 0 ~1,000ppm, O2 : 0.1ppm ~20.6% | |
| Regen. | Regen. Gas | 3.8% H2, 96.2% N2 혼합 가스 (VCR) |
| Gas Amount | 105,000 ℓ | |
| Column Change | 자동 : 실시간 Column 정제 능력 표시, 수동 : 주기 설정 | |
| Heater 표면온도 | 70℃ 이하 | |
| Quick Purge (압력조절가능) |
N2 | Max. 5,000lpm(Cool Unit), Max. 10,000lpm (TM#1) |
| CDA | EMO 누를 시 Chamber O2 농도 30분 이내 20.9% 도달 | |
| 기타 | Solvent Trap | TM#1 배기구 장착(Regenerable Absorber) |
| Operation Panel | 8 inch Full Color Touch | |
| Control Unit | Mitsubishi Q PLC 제어 / CC-Link Communication | |
| Filter | Class H13 (0.3㎛) | |
| 누수 사양 | IPX2 | |
| 소음 | 80dB 이하 | |