제품소개
진공/N2 Chamber
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진공
N2 Chamber
설비명
Vacuum TM (5,6각 Type)
개요
Cluster Module의 중심에 위치하며, V-Robot으로 인접 Ch.로 Glass 반송 역할
기본사양
| Chamber Size | 5,930(W) x 7,686(L) x 3,254(H) |
| Pass Line |
1단 Port : 2200mm 2단 Port : 2540mm |
| Process Pressure (Max) | 1.0X101Pa |
| Ultimate Pressure | 1.2x100Pa |
| R.O.R(Leak Rate) | ≤ 1.33Pa/10min (10mTorr/10min) |
| Pumping Time | ≤ 20 min ( Target : ≤ 50mTorr ) |
| Vent Time | ≤ 20 min |
장비구성
